Nieuwe SMC gate valve: minder deeltjes en langere levensduur

De nieuwe XGTP gate valve van SMC is een efficiënte oplossing voor de semiconductor industrie. De klep opent en sluit in een haakse beweging van exact 90 graden.

De zeer geringe contaminatie per wafertransfer is uniek. De klep werkt op een lagere operationele druk en met een nieuw mechanisme dat minder vibratie veroorzaakt. Daardoor is de seal-belasting gering en is de contaminatie tot een minimum beperkt bij iedere cyclus van de gate valve.

Met minstens drie miljoen cycli wordt een lange levensduur bereikt. Minder onderdelen zorgen voor een hogere betrouwbaarheid en lagere kosten. De XGTP gate valve is bestand tegen temperaturen tot 120°C en heeft een operationele druk van 0,25 tot 0,5 MPa.