Your cart is currently empty!
Millimetergolven op de vierkante nanometer
VSL heeft een grensverleggende oplossing ontwikkeld om superkleine hoogfrequente componenten op de wafer te kunnen karakteriseren. Het Nederlands metrologisch instituut legt uit welke obstakels het daarbij heeft overwonnen.
Vector network analyzers (vna’s) zijn sleutelinstrumenten in het rf- en millimetergolfdomein. De chipindustrie zet ze in om hoogfrequente componenten en circuits al op de wafer, vlak na de productie, te testen. Dit om te verifiëren of ze functioneren zoals verwacht, alvorens ze in te bouwen in bijvoorbeeld mobiele telefoons. Bij VSL gebruiken we vna’s om tot 50 GHz de zogeheten scattering-parameters (S-parameters) van coaxiale componenten te bepalen. Aan de hand daarvan kunnen we nauwkeurig het hoogfrequente elektrische gedrag van de componenten beschrijven.
Met de toenemende miniaturisering wordt het echter steeds moeilijker om de hoogfrequent-karakterisatie correct uit te voeren. Een eerste probleem vormen de huidige commerciële meetstations waarmee vna’s on-wafer worden gecombineerd: door de gebruikte optische microscoop voor visualisatie van de te testen componenten zijn die beperkt in resolutie. Ten tweede hebben de manipulatoren voor het maken van het elektrische contact mechanische beperkingen. Ten derde geven vna’s bij nanostructuren significante ruis. Om dergelijke structuren toch on-wafer te kunnen karakteriseren, hebben we bij VSL een nieuw meetstation ontwikkeld.