Philips plant verdubbeling Eindhovense mems-foundry

Philips Innovation Services wil de capaciteit van zijn mems-foundry op de High Tech Campus verdubbelen. Dat meldt een woordvoerder in EE Times. De productie gaat daarmee naar dertigduizend 150 en 200 mm wafers per jaar. De fabriek biedt een mix van mems- en microassemblageservices binnen Philips maar ook steeds meer daarbuiten, onder meer aan Océ. In de 2650 vierkante meter aan cleanroom werken ongeveer honderdveertig mensen, eerlijk verdeeld over de twee activiteiten. De verdubbeling staat gepland voor volgend jaar.

De Eindhovense foundry kan overweg met een breed scala aan materialen, van zilver tot zink, inclusief materialen die verboden zijn in een cmos-proces, legeringen, diëlektrica en polymeren. Deze kan de fab neerleggen op een verscheidenheid aan substraten, zoals silicium, samengestelde halfgeleiders en glas, zowel vierkant als rond, tot 200 mm in diameter. Hiermee zijn allerhande types mems-devices te produceren maar ook microfluïdische systemen voor toepassingen in medische elektronica en printing.