Paul van Gerven
5 November 2009

Honderden miljoenen moet Mapper eind volgend jaar gaan opbrengen, zei CFO Jaap Bastiaansen deze week in het FD. Een flink bedrag voor een bedrijf wiens technologie vooralsnog niet is uitontwikkeld en tegen historische vooroordelen moet opboksen, maar bij succes is de beloning groot. Volgens Bastiaansen ligt zijn bedrijf op schema.

Het heeft een aantal wenkbrauwen doen fronzen, het artikel over Mapper in het Financieele Dagblad deze week. CFO Jaap Bastiaansen deed daarin uit de doeken hoe de starter op zijn tienjarig jubileum volgend jaar rijp is voor een overname. Mapper ziet het liefst dat branchegenoot en marktleider ASML het stokje overneemt, maar Canon of Nikon is ook goed. Ook Applied Materials en Tokyo Electron zouden wel oren hebben naar een instap in de lithomarkt, voegt Bastiaansen desgevraagd toe in een gesprek met Bits&Chips. ’Een migratie van optische technologie naar e-beam maakt dat mogelijk.‘

De openbare flirt in de richting van de Veldhovense koning der fotonen roept vragen op, omdat ASML en Mapper al jaren gezellig bij elkaar op de koffie komen. Natuurlijk houden de Veldhovenaren een oogje in het zeil als het gaat om concurrerende of complementaire technologie. Als Mapper technisch en commercieel staat waar het wezen moet, hoeft de lithomarktleider dat echt niet in de krant te lezen. Het artikel wekte bij sommige insiders dan ook de indruk dat Mapper zich in een gunstig daglicht probeerde te stellen als interessant investeringsobject. Wellicht moesten er nog een paar geldschieters worden aangetrokken? Ware pessimisten lazen er zelfs een signaal in dat de Delftse e-beamspecialist het water aan de lippen stond. Waarom anders zou het bedrijf naar zo‘n doorzichtig paardenmiddel grijpen?

Allemaal onzin, zegt Bastiaansen, en van een door moeizame onderhandelingen ingegeven wanhoopscampagne is al helemaal geen sprake. ’De financiering voor 2010 is bijna rond. Wij praten alle grote kranten één keer per jaar bij en het FD vond de aanstaande verkoop het belangrijkste nieuws, ook al hadden we dat al eerder in de openbaarheid gebracht.‘ Volgens de CFO wil zijn bedrijf eind volgend jaar in de verkoop om zuiver marktgedreven redenen. ’Mapper wil rond 2012 instappen om mee te kunnen doen in 22-nanometerproductie. Dat betekent dat we in 2011 een machine moeten hebben waar chipmakers mee uit de voeten kunnen. Voor de productie en distributie daarvan ligt het dus voor de hand dat we eind 2010 een partner in de hand nemen. Dat deze ons koopt, ligt voor de hand, maar er zijn andere vormen van samenwerking mogelijk.‘

Het is geen geheim dat Mappers missie van begin af aan is geweest zich te laten opkopen, met een leuke opslag voor de investeerders natuurlijk. De Delftenaren hebben nooit onder stoelen of banken gestoken dat ze de specialistische productie van hun machines niet in eigen beheer willen doen. ’Het ligt voor de hand om het moment waarop Mapper een productiepartner in de hand neemt te gebruiken voor een exit van de aandeelhouders‘, aldus Bastiaansen. Het artikel in het FD mag derhalve niet worden gelezen als een teken dat het geduld van de investeerders op begint te raken.

Ambitieus

Dat laat onverlet dat Mapper technologisch en commercieel moet kunnen overtuigen, wil het een interessante opkoopkandidaat zijn. Hét probleem van elektronenbundellithografie is dat het met elektronen werkt, en elektronen stoten elkaar af. Hoe meer elektronen je tegelijk door een ’lens‘ probeert te proppen, hoe meer last je krijgt van die afstoting. Er zit dus een fundamentele limiet aan hoeveel stroom je bundelsgewijs op een wafer kunt projecteren zonder de resolutie negatief te beïnvloeden.

Mapper heeft in de loop der jaren gestage voortgang geboekt, maar een bewezen strategie om dat probleem te omzeilen, moet het de wereld nog tonen. De Delftenaren willen het varkentje wassen door het werk van één bundel door meerdere te laten doen. Als er niet meer elektronen door een gaatje passen, dan maak je meer gaatjes. Tegelijk moet het veld dat de machine beschrijft, worden opgerekt van 1,5 bij 1,5  millimeter naar 26 bij 33 millimeter. Alles bij elkaar vraagt dat nog altijd een reuzensprong van honderddertig naar dertienduizend bundels, misschien wel meer. Een enorme uitdaging.

MAPPER_1

Mapper wil bij deze laatste ontwikkelfase ter verhoging van de waferdoorzet niet meer op eigen benen staan. ’Dat is in betere handen bij een grotere speler. Ons concept is dan echter bewezen‘, belooft Bastiaansen. De elektronenbundelmachine moet bij overname tien wafers per uur verwerken, in een clustermodus waarin verschillende tools zijn gebundeld. Hetzelfde cluster zou uiteindelijk honderd wafers per uur moeten kunnen verstouwen.

De vraag is hoe de markt tegen deze belofte aankijkt. Oude rotten in het vak herinneren zich nog hoe e-beam in de jaren tachtig de grote lithografieconferenties domineerde, om het fenomeen vervolgens steeds verder weg op de roadmaps te zien verdwijnen. Waarom? Juist, problematische doorvoer. Mapper en zijn parallelle-bundelconcept danken er in zekere zin hun bestaan aan. Maar ook de starter is wat dat betreft zijn beloftes niet altijd nagekomen. In 2002 zei toenmalig directeur Boudewijn Baud dat zijn bedrijf drie jaar later 33 procent van de markt voor lithomachines voor zijn rekening wilde nemen. ’We zijn ambitieus, ja. Maar we zouden dit soort doelstellingen niet roepen als we niet zouden geloven dat ze haalbaar zijn‘, aldus Baud destijds in het FD. Tot nu toe heeft Mapper twee machines verkocht, en die worden niet gebruikt voor productie.

Mappers gang naar de markt is sindsdien vaker uitgesteld. Twee jaar geleden sprak medeoprichter Bert Jan Kampherbeek in Bits&Chips van een instap op 32 nanometer half pitch in 2010, maar ook dat is een illusie gebleken. Nog een keer zo‘n knooppunt missen, is waarschijnlijk fataal. Het is 22 nanometer of niets.

Boerenverstand

Commercieel is ook niet alles koek en ei. Zo vraagt Mapper nogal wat van zijn potentiële klanten, die hun infrastructuur helemaal op fotonen hebben ingericht. Materialen en procestechnologie, beide zijn ze berekend op licht. Voor e-beam moet je een geheel nieuwe infrastructuur inrichten. Mapper is zich daar echter terdege van bewust. Niet voor niets zit het bedrijf in het Europese Imagine-programma, dat specifiek bedoeld is om de 22-nanometerinfrastructuur voor lithografie met elektronenbundels te ontwikkelen.

In datzelfde programma zitten ook de twee sterkste troeven van Mapper, namelijk zijn twee klanten CEA-Leti en TSMC. Beide zijn waardevolle medestanders: CEA-Leti als gezaghebbend onderzoeksinstituut, TSMC als foundry waar steeds meer chipmakers hun productie aan uitbesteden. Beide hebben een machine van Mapper afgenomen en vervolgcontracten afgesloten. Zoiets ligt goed bij potentiële investeerders. Toch is het opvallend dat zich geen andere partijen hebben gemeld behalve grote vis TSMC, al kunnen teleurstellingen uit het verleden daar een rol bij spelen. E-beamtechnologie ontmoet nu eenmaal veel scepsis, nog steeds.

Mapper bevecht dat met een uitgekiende businesscase. In aanschaf gaat een clustertool voor honderd wafers per uur het verschil niet maken met conventionele fabricageapparatuur, aangezien een dergelijk systeem ook tientallen miljoenen euro‘s gaat kosten. Maar dan begint de besparing: e-beam heeft geen maskers nodig. Fabrikanten van microprocessoren en geheugens hebben er niet zo veel per jaar nodig, maar logic-makers wel. Het logic-segment is dan ook een natuurlijk instappunt voor Mapper, maar hoe duurder de maskers – en ze worden steeds duurder – hoe kosteneffectiever e-beam voor andere marktsegmenten wordt. Ook in prototypering en productie van kleine oplages kan maskerloze lithografie excelleren.

Voor Mapper wordt 2010 kortom het jaar van de waarheid. De Delftenaren moeten dan bewijzen dat hun machines de concurrentie met optische scanners aankunnen. Tegen die tijd is er veel meer dan honderd miljoen euro ingestoken, zegt Bastiaansen, en een vraagprijs van honderden miljoenen is daarom heel redelijk, zeker gezien de marktpotentie. ’Een kwestie van common sense‘, aldus de CFO. Het boerenverstand zegt echter ook dat Mapper anno 2009 nog een lange weg te gaan heeft en daarom slechts een fractie van dat bedrag waard is.