ASML legt een miljard euro op tafel voor een aandeel van 24,9 procent in Carl Zeiss’ halfgeleidertak, Carl Zeiss SMT. Daarnaast steken de Veldhovenaren de komende zes jaar in totaal 220 miljoen euro in SMT’s r&d-inspanningen en ondersteunt het zijn toeleverancier met nog eens 540 miljoen voor andere noodzakelijke investeringen.
Aanleiding voor het aanhalen van de banden is de ontwikkeling van de volgende generatie euv-machines met een hogere numerieke apertuur (na). De huidige systemen hebben een na van 0,33, na 2020 is meer dan een 0,5 nodig om double patterning te voorkomen.
De deal doet denken aan de constructie die ASML een paar jaar geleden optuigde met Intel, Samsung en TSMC. Deze bedrijven investeerden toen ook miljarden in hun toeleverancier, via aandeleninkoop en r&d-support. Dit was ook bedoeld om euv-ontwikkeling een boost te geven.