Paul van Gerven
22 September 2006

Chipmachinefabrikant ASML, Sematech en het daaraan geaffilieerde ISMI (International Sematech Manufacturing Initiative) gaan een demonstratielaboratorium opzetten in Veldhoven. De partners nemen het lab vlakbij het hoofdkantoor naar verwachting eind dit jaar in gebruik.

De samenwerking is in het leven geroepen om 45, 32 en 22 nanometer details te realiseren met immersielithografie. ASML stelt daarvoor de Twinscan XT:1700i-scanner inclusief maskertechnologie en software ter beschikking. Ook zullen de Veldhovenaren helpen bij het zichtbaar maken van de wafers door middel van elektronenmicroscopie.

Sematech is een researchconsortium waaraan vijftien chipfabrikanten deelnemen. De meeste deelnemers zijn Amerikaanse bedrijven als AMD en Intel. Dochter ISMI houdt zich bezig met het doorontwikkelen van research tot productieprocessen. Uit Europa zijn NXP en Infineon vertegenwoordigd. Sematech vertegenwoordigt totaal ruim de helft van de chipmarkt.