Paul van Gerven
22 November 2016

ASML is vanaf heden volledig eigenaar van Hermes Microvision (HMI), een fabrikant van e-beam-inspectietools voor de halfgeleiderindustrie. ASML en HMI kondigden de overname begin van de zomer aan en rondden de vereiste procedures onlangs af. Het is de bedoeling dat HMI’s technologie wordt opgenomen in ASML’s holistische-lithografie-suite, een verzameling technieken om de prestaties van scanners te verbeteren.