Paul van Gerven
18 april

ASML heeft vier orders van drie klanten voor high-na-systemen ontvangen, de volgende generatie euv-scanners. Daarnaast  zijn er acht opties van een onbekend aantal klanten geplaatst. Dat maakte de machinebouwer bekend bij de presentatie van de eerstekwartaalcijfers. De tools zijn bedoeld voor r&d-doeleinden en zullen naar verwachting eind 2021 worden geleverd. Productieversies volgen in 2024.

Tijdens het sterk vertraagde ontwikkeltraject van de eerste generatie euv-machines vroeg ASML middels een co-investeringsprogramma een financiële bijdrage van zijn klanten. Dit om de hoog oplopende ontwikkelkosten niet uitsluitend op de aandeelhouders van ASML af te wentelen. Voor high-na zal ASML de ontwikkelkosten zelf dragen, zei ceo Peter Wennink begin vorig jaar, maar alleen met keiharde garanties van klanten. Met de orders en opties lijkt dat commitment nu gegeven.

ASML’s omzet uitgesplitst naar eindgebruik. Bron: ASML

Wat betreft resolutie en overlay (de mate waarin opeenvolgende belichtingen over elkaar heen vallen) presteren high-na-scanners tot zeventig procent beter dan de ‘standaard’ euv-scanners. Daarnaast mikt ASML op een hogere doorvoer van 185 wafers per uur. Ter vergelijking: recentelijk heeft het bedrijf 140 wafers per uur gerealiseerd op een euv-systeem in Veldhoven en 125 wafers per uur bij een klant. Met deze eigenschappen kan de chipindustrie met high-na tot ver in het volgende decennium krimpslagen blijven uitvoeren, zegt Wennink in een persbericht.

De uitlevering van de huidige serie productiemachines is overigens opnieuw op een kleine hobbel gestuit: net als vorig jaar levert ASML twee systemen minder dan gepland. Dit jaar zal ASML twintig in plaats van de geplande tweeëntwintig systemen verschepen, deels vanwege eigen capaciteitsproblemen en deels omdat klanten hun fabs later dan gepland op orde hebben. Eerder dit jaar werd bekend dat de productie van euv-optiek bij Zeiss een bottleneck vormt, waardoor ASML volgend jaar niet kan voldoen aan de vraag.

In het eerste kwartaal werden de eerste drie euv-scanners geleverd en een vierde is onderweg. Er werden nog eens negen machines besteld. Op de jaarcijfers heeft de levering van twee minder dan geplande euv-machines nauwelijks invloed, verwacht ASML, omdat optische systemen het verschil opvangen.

Op koers voor nieuw record

ASML deed vergeleken met vorig kwartaal een stapje terug in omzet, 2,3 miljard euro tegen 2,6 miljard euro drie maanden geleden. Dit was niet onverwacht: eind vorig jaar leverde ASML meer machines af dan ingepland, waardoor er rekening werd gehouden met een omzetverlaging in het eerste kwartaal. De omzet in het eerste kwartaal van 2017 bedroeg 1,9 miljard euro. De winst over de afgelopen drie maanden bedroeg 540 miljoen euro, tegen 644 miljoen het vorige kwartaal.

Met 2,4 miljard euro (exclusief high-na) aan nieuwe orders lijkt een nieuw recordjaar in de maak. ASML ziet bovendien nog geen opbouw van overcapaciteit in de industrie, ondanks een flinke hausse in de geheugenmarkt.