ASML-ceo Peter Wennink blikt terug op het jaar waarin euv-lithografie voorsorteerde op productie-insertie, zijn bedrijf de volgende euv-generatie in de steigers zette en eindelijk Zeiss kocht, althans een stukje daarvan.
Wat moet het een opluchting zijn voor Peter Wennink als hij tegenwoordig vragen over euv-lithografie krijgt. Niet langer hoeft hij de roadmap op te dreunen, wetend dat niemand daarvan onder de indruk is. Daarvoor zijn er te veel vertragingen opgetreden. Die onzekerheid kon de ASML-ceo lange tijd niet wegnemen.
Sinds kort kan Wennink eenvoudig verwijzen naar de openbare statements van zijn klanten Samsung en TSMC, die bekendmaakten eind volgend jaar euv in productie te nemen. ASML’s orderboek weerspiegelt dat: er staan achttien euv-machines in, zes meer dan drie maanden geleden. Bij elkaar vertegenwoordigen ze een waarde van twee miljard euro. En daar komt het lopende jaar waarschijnlijk nog wel wat bij.
De kogel is dus eindelijk door de kerk?
Wennink knikt: ‘We komen van ver en we moeten nog een stukje verder, maar het gaat gebeuren. Voor productie moeten de machines een beschikbaarheid van minimaal negentig procent hebben. Twee systemen hebben dat inmiddels gehaald over vier weken. Alle systemen in het veld halen gemiddeld meer dan tachtig procent. Gezien het tempo waarin we nu vooruitgaan, is het duidelijk dat we onze doelstellingen gaan halen.’
Device lifecycle management for fleets of IoT devices
Microchip gives insight on device management, what exactly is it, how to implement it and how to roll over the device management during the roll out phase when the products are in the field. Read more. .
Kunnen we uit het commitment van de grote klanten opmaken dat het met de euv-infrastructuur ook wel goed zit?
‘Voor 2017 en 2018 zijn er geen issues. Voor volumeproductie moet er nog wat gebeuren met de fotolak, al zijn daar de afgelopen weken ook veelbelovende resultaten mee geboekt. Met het maskerbeschermende vliesje, het pellicle, hebben we de laatste tijd opnieuw vooruitgang geboekt. En voor maskerinspectie hebben we weliswaar geen tool die met euv-licht werkt (actinic inspection, PvG), maar die is ook niet nodig, denken we. Dat kunnen we ook met e-beam op de wafer doen.’
Toch komen er van industriebijeenkomsten nog steeds sceptische geluiden.
‘Dat is een kwestie van wie je wilt geloven: een bedrijf dat aan de zijlijn staat, of het bedrijf dat leading-edge chips maakt en voor honderden miljoenen aan machines bij ons bestelt.’
Garanties
Terwijl euv de laatste stappen zet naar massaproductie, is de ontwikkeling van de volgende generatie euv-machines al begonnen. Met uitermate complexe aanpassingen aan de optiek gaan ASML en hofleverancier Zeiss de numerieke apertuur (na, ook wel lensopening) van het belichtingssysteem verhogen. Kort door de bocht draagt daardoor meer licht bij aan de afbeelding, waardoor een nog hogere resolutie wordt gerealiseerd. Chipfabrikanten hopen dat ze daardoor double patterning met euv kunnen vermijden, of op zijn minst uitstellen.
Om de ontwikkelslag te ondersteunen, legde ASML eind vorig jaar een miljard euro op tafel voor een aandeel van 25 procent in Zeiss SMT, de halfgeleidertak van het Duitse bedrijf. Daarbovenop ondersteunt het zijn toeleverancier met 540 miljoen euro investeringskapitaal en 220 miljoen voor investeringen. Deze injectie is nodig, legde scheidend SMT-directeur Herman Gerlinger onlangs uit in NRC Handelsblad, omdat euv zodanig was vertraagd dat er onvoldoende euv-sales waren om de ontwikkeling van de volgende generatie te bekostigen.
Hoe steekt de deal precies in elkaar?
‘Met de 540 miljoen euro gaat Zeiss een nieuwe cleanroom bouwen en meetapparatuur ontwikkelen die nodig is voor de high-na-generatie. Deze capex krijgen we terug via de lenzen. Tegenover onze ondersteuning van Zeiss’ r&d staat geen directe financiële tegenprestatie, maar het is duidelijk hoe die ons toch ten goede komt.’
Jullie kopen Cymer, maar met Zeiss houden jullie het bij een minderheidsaandeel. Hoe zit dat?
‘It takes two to tango. Wij willen graag trouwen, maar de bruid moet ook willen. Zeiss is een bijzonder bedrijf, dat onder een stichting valt met een missie die verder gaat dan winst maken. In het bestuur zijn onder meer de regionale overheid en de bonden vertegenwoordigd. Voor Zeiss was dit al een enorme stap.’
Zelf voeren ze het argument aan dat het een van de meest innovatieve takken van hun bedrijf is, die ze echt niet kunnen missen. Maar de kruisbestuiving tussen euv-optiek en lenzen voor consumentenproducten kan niet erg groot zijn.
‘Euv-technologie staat lichtjaren verwijderd van andere optiek in het concern. Kruisbestuiving is dus een beetje een gezocht argument. Maar toch, ze claimen het meest geavanceerde optische bedrijf ter wereld te zijn, en ik denk ook dat ze het zijn, en de meest geavanceerde optiek die ze maken, zit in Zeiss SMT. Dat doet niemand. Zonder die activiteit zijn ze een normaal bedrijf.’
Wat betekent deze constructie voor jullie relatie?
‘Hoe close we ook waren, honderd procent transparantie hadden we niet. Dat gaat nu veranderen. Dat helpt om risico’s eerder te onderkennen.’
Gaan jullie je klanten opnieuw vragen om bij te dragen aan de ontwikkeling van high-na-euv?
‘Nee, deze keer kunnen we dat zelf financieren. De kosten daarvoor zitten al in onze financiële langetermijnplanning. Ik wil vanzelfsprekend wel keiharde garanties van mijn klanten, inclusief risicodeling.’
Jullie moeten ook steeds meer samenwerken met andere equipment-leveranciers om de afbeelding netjes op het silicium te krijgen. Gaat dat op den duur ook niet leiden tot meer fusies en acquisities?
‘Meer samenwerking, absoluut. Dat is nodig voor de kostenbeheersing van onze klanten. Maar fusies en acquisities onder de grote machinebouwers gaan niet meer gebeuren. Dat is kristalhelder nu de deals tussen KLA-Tencor en Lam en tussen Applied Materials en Tel zijn afgeketst. In Azië, in Europa en in de Verenigde Staten ziet de politiek een dergelijke concentratie van macht niet zitten. Dus moeten we de toenemende complexiteit op een andere manier te lijf gaan. Dat kost wat meer werk, maar het moet. Niet dat wij er geen belang bij hebben, want het is billable value.’