Paul van Gerven
8 Jul 2016

Half juni maakte ASML bekend de Taiwanese fabrikant van e-beaminspectietools Hermes Microvision (HMI) over te nemen voor 2,75 miljard euro. De ins en outs van deze deal vanuit drie perspectieven.

1. De technologie

‘De tijd van puntoplossingen is voorbij. We hebben geïntegreerde oplossingen nodig’, zegt ceo Peter Wennink van ASML in een video waarin hij de overname toelicht. Waar je vroeger een chip kon ontwerpen en vervolgens de wafer door verschillende apparaten haalde zonder dat al deze stations rekening met elkaar dienden te houden, is tegenwoordig meer en meer een geïntegreerde benadering nodig. Dat is precies wat ASML met de e-beaminspectietools van HMI wil doen.

De technologie van HMI zal een plaatsje krijgen in wat ASML zijn holistische-lithografiesuite noemt, een verzameling hulpmiddelen om procesaspecten te coördineren. Dat kunnen computationele technieken zijn om masker en belichtingsstappen op elkaar af te stemmen (de Flexray), maar ook metrologische tools die het proces op basis van metingen on the go helpen bijsturen (de Yieldstar).

De e-beam-inspectietools van HMI worden op dit moment nog niet realtime ingezet in productie: ze dienen voor proceskwalificatie en -kalibratie. E-beam is immers te langzaam in productie. ASML wil echter wel de richting op van de Yieldstar, laat een woordvoerder desgevraagd weten. De expertises van ASML en HMI versterken elkaar op dat vlak: met ASML’s technologie kan de elektronenstraal naar hotspots worden geleid; met de informatie die dat oplevert, wordt het proces bijgestuurd.

De tools van HMI zijn bovendien in staat om defecten op te sporen die worden veroorzaakt door euv-maskers. Met de overname ondersteunt ASML daarom de transitie van de industrie naar euv, maar zorgen over euv-maskerinspectie waren volgens de Veldhovenaren niet de primaire motivatie om HMI in te lijven.

Dutch System Architecting Conference

2. De business

In financiële kringen wordt verschillend gereageerd op de overname. Sommigen kijken alleen naar de kale cijfers en vinden de prijs – vijftien keer de omzet – erg hoog voor een bedrijf dat de laatste tijd toch een beetje in het slop zat. Volgens de Taiwanese techsite Digitimes heeft HMI terrein verloren op de Amerikaanse concurrenten Applied Materials en KLA-Tencor.

Andere analisten zien de synergie die ASML en HMI kunnen creëren door e-beam-inspectie in de holistische-lithografiesuite onder te brengen. Hoogstwaarschijnlijk hebben chipfabrikanten dit soort oplossingen keihard nodig om sub-10-nanometerchips te produceren, en als zodanig moet ASML zijn investering gemakkelijk terug kunnen verdienen. Het bedrijf groeit bovendien al hard in dit segment: in 2011 bestond veertien procent van de omzet uit ‘services & options’, vorig jaar was dat een derde.

3. Samenwerken of overnemen

ASML en HMI werkten al geruime tijd samen, maar toch werd in overleg besloten tot een overname. Dat heeft alles te maken met de toenemende complexiteit en noodzaak tot integratie. ASML heeft die les met Cymer al geleerd. Aanvankelijk hoefde het zich weinig te bekommeren om de (duv-)lichtbron, behalve wat de specs aanging. Zoals het ook de optiek kant-en-klaar betrekt bij Zeiss, of de waferhandler bij VDL ETG. Bij euv-lithografie is de wisselwerking tussen bron en scanner veel complexer. ASML heeft intensief samengewerkt met Cymer, maar het bleek te ingewikkeld om de technologie te integreren en tegelijk het intellectueel eigendom van beide partijen te beschermen. Als je elkaar geen volledige inzage in de technologie kunt geven, is het bijna ondoenlijk snel en slagvaardig op te treden. Met HMI is het niet anders.