13 February 2012

Mapper, het Franse onderzoeksinstituut CEA-Leti en nog dertien bedrijven – waaronder TSMC en STMicroelectronics – zetten hun samenwerking in het Imagine-programma minimaal drie jaar voort. De partners gaan de tijd gebruiken voor het uittesten van Mappers eerste preproductietool, die later dit jaar in Frankrijk wordt geïnstalleerd. Die Matrix-machine verwerkt een wafer per uur, maar zijn opvolger kan in de toekomst worden geclusterd om een doorvoer van honderd plakken per uur te realiseren.

Het Imagine-programma is opgezet om e-beamlithografie en de daarvoor benodigde infrastructuur te ontwikkelen voor productiedoeleinden. Inmiddels hebben die inspanningen geleid tot prints van 22-nanometerlijntjes en -contactgaatjes, waarmee is voldaan aan de industrie-eisen voor 14- en 10-nanometerlogica, aldus Mapper en CEA-Leti. ’Dit resultaat (…) demonstreert de potentie van deze technologie als reëel alternatief voor de fabricage van geavanceerde chips‘, zegt coördinator Laurent Pain van Imagine.

Meer over Mappers voortgang in Bits&Chips 2 2012, die 2 maart verschijnt.