Your cart is currently empty!
Nieuws
De 3400C is de euv-machine die ASML altijd heeft willen bouwen
Reading time: 4 minutes
Na de overname van Cymer jeukten de handen van ASML om het ontwerp van de euv-bron grondig te herzien. Maar aangezien dat het verkeerde signaal zou afgeven aan klanten, moest het bedrijf aanmodderen tot de levensvatbaarheid van euv definitief was aangetoond. Eind dit jaar verschijnt de NXE:3400C, ‘de machine zoals we die altijd hebben willen maken’, aldus topman Peter Wennink.
‘De executie van Cymer valt zwaar tegen’, erkende ASML-cto Martin van den Brink in 2011 tegen Bits&Chips. Het Amerikaanse bedrijf dat hij had uitverkoren om de euv-bron te ontwikkelen, miste deadline na deadline. Het vermogen bleef daardoor ver achter bij de route die was uitgestippeld. Klanten werden zenuwachtig: lithografisch presteerde euv-litho indrukwekkend, maar zou de techniek ooit snel genoeg worden voor massaproductie?
Toen het vertrouwen in 2012, na een jaar of zes euv-ontwikkeling, dreigde af te kalven, greep ASML in. Geheel tegen de vertrouwde toeleveringsfilosofie in nam het Cymer over.
This article is exclusively available to premium members of Bits&Chips. Already a premium member? Please log in. Not yet a premium member? Become one for only €15 and enjoy all the benefits.
