Paul van Gerven
22 March 2011

Een proefproductielijn met 450-millimeterwafers lijkt wel het laatste wat Europa nodig heeft, maar toch overweegt de Europese Commissie er zijn steun aan te verlenen. IC-fabrikanten sputteren tegen, maar hun toeleveranciers staan te juichen.

Jarenlang heeft internationale branchevereniging Semi ervoor gelobbyd, maar de boodschap lijkt eindelijk tot de Europese Commissie doorgedrongen: IC-productie is in Europa aanbeland bij een point of no return. Als er niet snel nieuwe investeringen in productiefaciliteiten komen, verdwijnt geavanceerde halfgeleiderfabricage op den duur uit Europa. En aangezien in deze tak van sport R&D en productie sterk met elkaar zijn verweven, is het zeer de vraag of ook de R&D uiteindelijk de oostwaartse trek van het economisch zwaartepunt zal kunnen weerstaan.

In de ogen van de EC zou hiermee een pijler onder de Europese welvaart worden weggeslagen. Volgens analist Malcolm Penn van Future Horizons hebben ook de ineenstorting van de financiële sector en het snelle herstel van de Duitse maakeconomie een handje geholpen bij het besef dat diensten alleen geen solide economische basis vormen. Het faillissement van Qimonda zal ook wel hebben meegespeeld, zelfs al timmert Globalfoundries in Dresden serieus aan de weg.

Aldus begint de EC voorzichtig afstand te nemen van het idee dat precompetitieve ondersteuning van R&D wel voldoende is. ’Als maatschappij, als Europa moeten we onze onderzoek en ontwikkeling behouden en versterken en onze positie in vooruitstrevende fabricage heropbouwen‘, tekende zakenmagazine Trends op uit de mond van Eurocommissaris Digitale Agenda Neelie Kroes. ’Daarvoor hebben we investeringen nodig en firma‘s die werken om de toekomst te bouwen in plaats van het verleden te melken‘, voegde zij de grote Europese chipbakkers fijntjes toe.

Gezien de recente fablite-koers van inheemse halfgeleiderfabrikanten is het inderdaad opvallend dat de EC begin dit jaar opdracht gaf de effecten van een 450-millimeterproefproductielijn op Europese bodem te onderzoeken. Als er één groep bedrijven niet zit te wachten op 450-millimeterplakken, dan zijn het de Europese chipfabrikanten wel – uitgezonderd Intel in Ierland. Toch stellen zij zich niet afzijdig op. Tijdens een recent symposium van Semi zei een woordvoerder van NXP dat het niet in het belang van de Europese belastingbetaler is om een klein aantal niet-Europese chipbedrijven (Intel, Samsung, Toshiba, TSMC) te helpen hun dromen waar te maken. In het achterhoofd speelt waarschijnlijk meer mee dat Europese steun voor IC-productie ten koste zou kunnen gaan van fondsen voor IC-onderzoek.

BCe24 save the date
Intel_fab_Oregon
Intel bouwt in Oregon een researchfab voorbereid op 450-millimetermachines en zou overwegen een productiefab in Ierland neer te zetten.

Aan de bak

Niet alleen gaan ze daarmee voorbij aan het feit dat de more-than-Moore-niche niet zo is vastgeklonken aan Europa als zij misschien denken, maar ook aan de belangen van de in Europa gevestigde toeleveranciers aan de chipindustrie. Die hebben veel te winnen als 450-millimetertechnologie in hun achtertuin wordt ontwikkeld. ’De Europese programma‘s worden van oudsher gedomineerd door de drie grote halfgeleiderfabrikanten. Machinebouwers en andere toeleveranciers mochten meedoen‘, zegt Bas van Nooten, woordvoerder van het European 450 mm Equipment & Materials Initiative (Eemi 450), een overleggroep van Europese IC-toeleveranciers, waaraan onder meer ASMI en ASML deelnemen.

Van Nooten, in het dagelijks leven coördinator van ASMI‘s Europese programma‘s, erkent dat de halfgeleidermachinemakers in het verleden hebben geprofiteerd van hun deelname. ’Wij willen echter benadrukken dat apparaten- en materiaalleveranciers een belangrijke zelfstandige industrie vormen, die veel werkgelegenheid oplevert en die aangewezen is op een internationale markt. En dus moet het vizier op 450 millimeter.‘

Over de transitie van 200- naar 300-millimeterplakken gaat het verhaal dat de toeleveranciers het kind van de rekening waren, maar volgens Van Nooten valt dat mee. ’Er is en wordt in het algemeen wel aan verdiend. Wij denken in ieder geval dat 450 millimeter gaat gebeuren en willen daarop inspelen.‘ Steun van Europa is daarbij vanzelfsprekend gewenst, zeker omdat de concurrentie in de Verenigde Staten niet stil heeft gezeten. De 450-millimeterpilotlijn van het International Sematech Manufacturing Initiative (Ismi) in de staat New York krijgt naar verwachting in de tweede helft van dit jaar zijn machines. Opmerkelijk is dat het initiatief niet alleen wordt gefinancierd door de staat New York, maar ook door Intel, Samsung en TSMC. Wie een prototype wil ontwikkelen, kan bij hen aankloppen.

In Europa loopt er behalve genoemde studie slechts een verkennend 450-millimeterproject op het gebied van equipment en materialen, gefinancierd met geld uit de Europese Eniac-pot. ’Financiering van toekomstige projecten is onzeker. Deels komt dat door andere prioriteiten van lidstaten en deels door geldgebrek als gevolg van de crisis. Toch verwacht ik nog wel meer 450-millimeterprojecten‘, zegt Van Nooten. Enige haast is geboden, want TSMC heeft te kennen gegeven in 2015 aan de slag te willen met 450 millimeter.