Paul van Gerven
17 okt 2012

Het geduld van ASML was op: de Veldhovenaren tellen 1,95 miljard euro neer om het roer over te nemen bij lichtbronspecialist Cymer. ’We hebben vertragingen ondervonden bij de ontwikkeling van de EUV-bron en die werden voornamelijk veroorzaakt door Cymer‘, zegt ASML-CFO Peter Wennink in een toelichting. Met de overname wil zijn bedrijf zeker stellen dat zijn EUV-scanners in 2014 zeventig wafers per uur verwerken, zoals beloofd.

De introductie van EUV-technologie is inmiddels zo vaak uitgesteld dat zij een wissel trekt op de wet van Moore, vertelde lithodirecteur Kurt Ronse van Imec onlangs (zie Bits&Chips 8, 2012, die vrijdag 19 oktober op de mat ligt). Chipmakers spreken weliswaar over 14-nanometerchips, maar in werkelijkheid zou volgens Ronse 16 of 17 nanometer een aanduiding zijn die beter overeenkomt met de werkelijkheid. In de krimpslag van 22/20 naar 14 nanometer wordt dus minder siliciumoppervlak gewonnen dan de laatste jaren gebruikelijk was, en dat komt doordat de lithografie tekortschiet.

De lichtbron geldt al jaren als een van de grootste problemen om EUV productiewaardig te krijgen, omdat het vermogen daarvan een belangrijke factor is in hoe lang een wafer belicht moet worden – en dus hoeveel wafers per uur kunnen worden verwerkt. De bronnen die nu in het veld staan, halen zeven wafers per uur met een watt of elf, en in het lab is dertig watt/achttien wafers per uur aangetoond. ASML houdt vast aan zijn belofte om in 2014 met een bron van 105 watt op de proppen te komen, goed voor ongeveer zeventig wafers per uur.

Er zijn twee spelers in de race om de verlossende lichtbron te ontwikkelen: het Amerikaanse Cymer en XTreme Technologies, een Akense dochter van het Japanse Ushio, met een beetje Philips-bloed. In 2007 stelde ASML zijn volledige vertrouwen in Cymer, maar het kwam daar enkele jaren later op terug toen de Amerikanen niet opschoten. ’De executie van Cymer valt zwaar tegen‘, zei Martin van den Brink vorig jaar tegen Bits&Chips (zie Bits&Chips 11, 2011, een special over ASML). De technisch topman haalde de banden met XTreme weer aan en stationeerde een mannetje bij Cymer om orde op zaken te stellen. Een overname leek geen optie, omdat de Amerikanen ook aan Nikon leveren.

Die hindernis staat nog steeds overeind, maar ASML is kennelijk bereid de procedures met de mededingingsautoriteiten te trotseren. Met het recente commitment van ‘s werelds grootste spelers in de halfgeleiderindustrie staat het in ieder geval sterker. In een persbericht zegt het Veldhovense bedrijf dat het co-investeringsprogramma met Intel, Samsung en TSMC een en ander ’makkelijker‘ maakt. Peter Wennink benadrukt dat Cymer aan derden zal blijven leveren.

ASML haalt overigens enkele additionele redenen aan om Cymer over te nemen, en daarmee naar alle waarschijnlijkheid het doodsvonnis van XTreme te tekenen. Het stelt de Veldhoveraren in staat de overlappende toeleverketen van Cymer en ASML te versimpelen, R&D te versnellen tegen lagere kosten, en productie en integratie van lichtbronnen met ASML-machines te faciliteren. Daarnaast heeft Cymer een aantrekkelijke deep UV-business. Na een intensieve samenwerking, met name het afgelopen jaar, is een overname bovendien een ’natuurlijke volgende stap‘.

De prijzige aanschaf van ASML vindt plaats onder enigszins onzekere omstandigheden. Met een omzet van ruim 1,2 miljard euro in het derde kwartaal presteerde het bedrijf vrijwel gelijk als dezelfde periode vorig jaar, maar het komende kwartaal verwacht het een sequentiële omzetdaling van 200 miljoen euro.

Verder in de toekomst durft ASML niet te kijken. De logic-sector is weliswaar druk doende met de ramp-up van 28-nanometerproductie, maar geheugenfabrikanten houden naar verwachting de komende twee kwartalen de hand op de knip. Met onzekerheid over het verkoopniveau van smartphones en tablets en de hoeveelheid geheugen die consumenten daarin willen, over de economie in het algemeen en over de impact van Windows 8 en ultrabooks op de chipsector, wil ASML zich nog niet wagen aan een financiële prognose over 2013. Wel zal de machinebouwer volgend jaar de eerste elf ’echte‘ EUV-productiemachines verschepen en daarmee 700 miljoen euro ophalen. In 2014 volgen dan nog eens minimaal vier van deze NXE:3300B-systemen mét een bron goed genoeg voor zeventig wafers per uur, met naar verwachting nog eens vier tot acht bestellingen extra in de nabije toekomst.