Paul van Gerven
11 July 2016

Gigaphoton heeft 250 watt weten te persen uit een euv-bron. Dat maakt het Japanse bedrijf bekend aan de vooravond van Semicon West, een vakbeurs waar veel halfgeleiderbedrijven belangrijke nieuwe ontwikkelingen delen met het publiek. Ook van ASML wordt deze week een update over euv verwacht.

Gigaphoton werkt met de dezelfde laser-produced plasma-brontechnologie als ASML. Het bereikte wattage van 250 watt geldt als doelstelling voor volumeproductie, maar Gigaphoton vertelt niet hoe lang dit vermogen kan worden geleverd, maar wel dat het bij een efficiëntie van 4,0 procent is. Aangezien het ook meldt 119 uur lang 130 watt te kunnen produceren, is de 250 watt hoogstwaarschijnlijk een piekvermogen.

Voor zover bekend heeft Gigaphoton nog geen bron geleverd aan een chipmaker.