Paul van Gerven
16 June 2016

ASML omarmt toch e-beam-technologie, al is het niet voor productiedoeleinden. De lichttovenaars uit Veldhoven nemen voor 2,75 miljard euro Hermes Microvision (HMI) over, een Taiwanese fabrikant van e-beam-inspectietools.

ASML versterkt met de overname zijn portfolio van holistische-lithografietools, een verzameling van computationele en metrologische hulpmiddelen die het lithografische proces bijsturen. Naarmate chipstructuren verdichten, is daaraan steeds meer behoefte: ASML realiseerde vorig jaar al een derde van zijn omzet met services and options. Ook productie van 3d-geheugens vergt meer procesinformatie en knoppen om aan te draaien.

De holistische technieken blijven relevant als euv-lithografie in gebruik wordt genomen. De tools van HMI zijn bovendien in staat om defecten op te sporen die worden veroorzaakt door euv-maskers. Met de overname ondersteunt ASML daarom de transitie van de industrie naar euv.

De metrologische informatiestroom loopt overigens ook de andere kant op: met de kennis die ASML al verzamelt en modelleert, kunnen de machines van HMI sneller en dus kosteneffectiever worden gemaakt. Mede dankzij deze synergie denkt ASML-ceo Peter Wennink dat de aankoop ‘vanaf dag één’ aan de winst zal bijdragen.

 advertorial 

System engineering @ ASML, practices and challenges

During the first online session of the System Architecting Conference, on 25 January, Frank de Lange and Tom Castenmiller (ASML) will address the role of systems engineering and discuss the essences of the roadmapping process, the holistic system design and the product generation process. Register now for free.