Paul van Gerven
16 June 2016

ASML omarmt toch e-beam-technologie, al is het niet voor productiedoeleinden. De lichttovenaars uit Veldhoven nemen voor 2,75 miljard euro Hermes Microvision (HMI) over, een Taiwanese fabrikant van e-beam-inspectietools.

ASML versterkt met de overname zijn portfolio van holistische-lithografietools, een verzameling van computationele en metrologische hulpmiddelen die het lithografische proces bijsturen. Naarmate chipstructuren verdichten, is daaraan steeds meer behoefte: ASML realiseerde vorig jaar al een derde van zijn omzet met services and options. Ook productie van 3d-geheugens vergt meer procesinformatie en knoppen om aan te draaien.

De holistische technieken blijven relevant als euv-lithografie in gebruik wordt genomen. De tools van HMI zijn bovendien in staat om defecten op te sporen die worden veroorzaakt door euv-maskers. Met de overname ondersteunt ASML daarom de transitie van de industrie naar euv.

De metrologische informatiestroom loopt overigens ook de andere kant op: met de kennis die ASML al verzamelt en modelleert, kunnen de machines van HMI sneller en dus kosteneffectiever worden gemaakt. Mede dankzij deze synergie denkt ASML-ceo Peter Wennink dat de aankoop ‘vanaf dag één’ aan de winst zal bijdragen.