Paul van Gerven
18 January 2011

IBM wil zijn 14-nanometerchips produceren met 193-nanometerimmersielithografie. Het bedrijf heeft daartoe zijn ontwikkelingsovereenkomst met de Japanse maskermaker Toppan Printing verlengd. De twee partners begonnen hun samenwerking op het 45-nanometerknooppunt. EUV komt voor IBM pas daarna in beeld. Toppan ondersteunt Big Blue ook bij deze technologie. Het is overigens niet helemaal duidelijk wat IBM met 14-nanometerchips bedoelt: knooppuntaanduidingen voor logic-chips zijn in de regel marketingaanduidingen die niet zijn de traceren op fysieke dimensies van chipstructuren.