Paul van Gerven
7 December 2010

Imec en Panasonic hebben een dunnefilm-Mems-resonator met recordperformance ontwikkeld. Op de befaamde IEDM in San Francisco toonden de partners een device met een Q-factor van 220 duizend bij een resonantiefrequentie van 20 MHz en een laag biasvoltage van 1,8 V DC. De resonator dankt deze eigenschappen aan een balkje dat in het luchtledige vibreert in torsiemodus en een afdichting van een silicium-germaniumlegering.

Imec_Mems resonator
Een Sem-dwarsdoorsnede van Imecs en Panasonics Mems-resonator toont het minuscule trillende balkje dat de kloksignalen genereert.

Mems-resonatoren staan in de belangstelling als vervanger van elektronische klokken gebaseerd op kwartskristal of piëzo-elektrisch keramiek, die niet op een chip kunnen worden geïntegreerd. De kwaliteit ervan wordt gemeten in de Q-factor, de scherpte van de trilling gedefinieerd als de breedte van de golf op halve hoogte gedeeld door de centrumfrequentie. De Q-factor van Imecs en Panasonics resonator is hoog genoeg, het voltage laag en afmetingen klein genoeg om de deur open te zetten naar een scala van elektronische toepassingen.