Een niet bij naam genoemde Taiwanese foundry heeft ASM Internationals Pulsar-machinelijn voor atoomlaagdepositie (ALD) gekozen om 28-nanometerchips met zogenaamde hoge-k-diëlektrica te fabriceren. Omdat zowel TSMC als rivaal UMC druk doende is de 28-nanometerprocestechnologie uit te ontwikkelen, is speculeren over de identiteit van ASMI‘s nieuwe liefde zinloos. Beide foundry‘s hebben geweigerd commentaar te geven, maar uit het persbericht blijkt dat de relatie vier jaar teruggaat.
De Taiwanese interesse lijkt uit te wijzen dat opname van ALD in het chipproductieproces in toenemende mate noodzakelijk wordt. Hoewel de technologie al aanzienlijke tijd beschikbaar is, hielden chipmakers zo lang mogelijk de boot af. Het ALD-proces is namelijk relatief traag.
Bij het keren van de dertig nanometer in de halfgeleiderwereld, zijn met atomaire precisie gestapelde nieuwe materialen in de gate van transistoren onontbeerlijk geworden, in ieder geval voor sommige typen chips. Deze materialen dienen als isolerend laagje tussen de gatestapel en het geleidende kanaal en zitten dus in het hart van de schakelaars. Decennialang werd daarvoor siliciumoxide gebruikt, maar nu zijn hoge-k-diëlektrica in zwang. Meestal hebben die een hafniumcomponent.
Intel beet voor zijn 45-nanometerprocessoren de ALD-spits af. Het is publiek geheim dat de chipreus daarvoor ASM‘s machines heeft gebruikt en dat nog altijd doet. Nu mag ASM een tweede grote vis tot zijn klantenkring rekenen, een foundry dit keer.
Opmerkelijk is ook het het belang van 4,9 procent dat Tokyo Electron (TEL) in ASM heeft genomen. Dit voedt de speculaties dat de Japanners het toenemend belang van ALD inzien en daarom geïnteresseerd zijn in ASM‘s expertise. Beide bedrijven werken al enige tijd samen. TEL (de L is van limited) heeft enkele ALD-patenten van ASM in licentie.
De interesse van ’s werelds op twee na grootste machinebouwer is relevant in het licht van de onverkwikkelijke gebeurtenissen die uit de ASM‘s bestuurskamers lekken. Eerder dit jaar stuurde de raad van commissarissen echter aan op meer samenwerking en mogelijk zelfs een einde van ASM‘s zelfstandigheid. De activistische aandeelhouders neigen ook naar dat standpunt. Het topmanagement heeft echter altijd vastgehouden aan een zelfstandig voortbestaan, en voelt zich ongetwijfeld gesterkt door de toegenomen interesse in ALD.
Een steuntje in de rug kan het management overigens wel gebruiken, want de eerstekwartaalcijfers bleken als verwacht niet geweldig. De omzet daalde met 55 procent ten opzicht van het eerste kwart van 2008 naar 89,1 miljoen euro. Waar vorig jaar nog een bescheiden winst werd geboekt, kwam ASM met 23,3 miljoen euro dit kwartaal in het rood.