René Raaijmakers
20 October 2009

Met de kenniswerkersregeling en de opening van het Dutch Joint Development Centre op het Flight Forum in Eindhoven lijkt de lichtstad – pardon, Brainport – voorgoed op de kaart te staan in Den Haag. Met honderdvijftig medewerkers is het ontwikkelcentrum verreweg het grootste project in de kenniswerkersregeling die de hightechindustrie een zetje moet geven in de dip. In totaal komt er 180 miljoen euro terecht bij kenniswerkers in Zuid-Nederland. Daarmee staat de regeling in Den Haag inmiddels bekend als ’het Eindhovense project‘.

Insiders wijzen erop dat het binnenslepen van de miljoenen voor een groot deel op het conto te schrijven is van de Eindhovense burgemeester Rob van Gijzel. Hij kreeg in ieder geval het meeste applaus van alle opgetrommelde bobo‘s tijdens de officiële opening op het Flight Forum. ’Als deze regeling er niet was geweest en de industrie net zo had gereageerd als in voorgaande recessies, dan hadden jullie nu allemaal op straat gestaan‘, zei Van Gijzel afgelopen vrijdag tegen honderdvijftig kenniswerkers.

20091016_ASML_KWR_Flightforum_21__63_
Rob van Gijzel staat Omroep Brabant te woord. De burgemeester van Eindhoven vindt dat Nederland nog een stap moet nemen en geavanceerde apparatuur van zijn hightechspelers moet kopen.

Renk Roborgh, directeur-generaal van het hoger onderwijs bij het ministerie van OC&W, was juichend over de kenniswerkersregeling. Volgens hem zal de intensieve samenwerking tussen industrie, kennisinstellingen en universiteiten de kloof tussen onderwijs en industrie helpen overbruggen. Daarom sprak hij de hoop uit dat de regeling ook na 2010 verder gaat. ’We gaan tijdens de formatie van het volgende kabinet op zoek naar instrumenten om dit structureel te kunnen financieren‘, aldus Roborgh.

Op Flight Forum 21, de plaats waar nu het Dutch Joint Development Centre is gevestigd, werkt ASML al enkele jaren onder de naam Yieldstar aan geavanceerde metrologie. De technologie maakt waferscanners nog slimmer en verhoogt de kwaliteit van het afbeeldingsproces voor chips. Metrologie maakt het mogelijk om de lithomachines beter in te stellen, maar het is zelfs mogelijk om voor onregelmatigheden uit andere delen van de fab te corrigeren.

Yieldstar heeft inmiddels een prototype scatterometer opgeleverd en onlangs introduceerde ASML de Baseliner. R&D-baas Harry Borggreve zegt dat de technici op het Flight Forum niet werken aan productontwikkeling, maar aan de kennis die voor komende generaties nodig is. Het gaat daarbij om bijvoorbeeld optische meettechnieken en wiskundige algoritmes.

ASML betreedt met Yieldstar een geheel nieuwe markt, namelijk die van de metrologische systemen. Met deze stap is het lithografiebedrijf uit Veldhoven ook minder afhankelijk van KLA, momenteel de enige leverancier van een systeem dat op waferniveau onregelmatigheden in de fijne lakstructuren in kaart kan brengen.

Binnen ASML zouden er discussies zijn geweest over het voortzetten of stopzetten van Yieldstar. De vraag is gerechtvaardigd of een winstgevend bedrijf met een miljard euro in kas zijn geavanceerde technologie niet zelf zou moeten financieren. Metrologie is weliswaar een andere tak van sport dan lithografie, maar meettechnieken zijn cruciaal om de structuren van nanometergeneraties chips betrouwbaar te kunnen fabriceren.

Van Gijzel wuift dit soort kritische noten weg. ’Het zag er aan het begin van dit jaar niet goed uit‘, zegt hij. ’Toch is ASML een half miljard euro voor R&D blijven reserveren voor dit jaar. Terwijl er nul binnenkwam. Dat is toch geweldig? Deze beslissing van ASML houdt een groot aantal toeleveranciers op een hoog kennisniveau. Die investeringen leiden tot producten. Daar profiteren we allemaal van. ASML geeft kennis aan de samenleving terug. Dat is een geweldige deal. Het is een nieuwe schakel in de open-innovatiestrategie. De regering is voor het eerst in de historie bereid geweest om dit te doen. We hebben nu de deeltijd-WW, WBSO en de kenniswerkersregeling. Dat is niet omdat de regio zielig is, maar omdat er in deze regio een grote kracht zit die voor de BV Nederland van groot belang is.‘

20091016_ASML_KWR_Flightforum_21__8_
Renk Roborgh van OC&W: ’We gaan tijdens de formatie van het volgende kabinet op zoek naar instrumenten om dit structureel te kunnen financieren.‘

Als het aan Van Gijzel ligt, dan neemt de overheid nog een stap en stelt het zich nadrukkelijker op als klant. Dit geldt wellicht minder voor de producten van ASML, maar wel degelijk voor andere hightech apparatuur uit de omgeving van Eindhoven, zoals de microscopen van Fei en chips en technologie voor rekeningrijden. Zo kunnen de microscopen van Fei op hun beurt het onderzoek aan de universiteiten weer een impuls geven.

Van de honderdvijftig kenniswerkers op het Flight Forum is twee derde afkomstig van ASML en een derde van toeleveranciers. Binnenkort komt daar nog een tiental onderzoekers bij die via TNO en de TU Eindhoven instromen. Het totaal komt daarmee uit op 162.

In het komende nummer van Bits&Chips meer achtergrond over Yieldstar.