23 aug 2012

Mapper heeft met een gang langs investeerders tachtig miljoen euro opgehaald. De machinebouwer gaat het kapitaal gebruiken om de eerste e-beamtoestellen uit te leveren en om de productiecapaciteit op te schroeven van zes naar twintig machines per jaar in 2014. Mapper leunt voor zijn productie grotendeels op het Nederlandse hightechecosysteem.

Het leeuwendeel van de nieuwe kapitaalinjectie komt op naam van Rusnano, een investeringsfonds van tien miljard dollar opgezet door de Russische overheid om de nanotechnologie-industrie in Rusland te stimuleren. Van Mapper werd dan ook verwacht dat het in ruil voor de financiële ruggensteun een activiteit in Rusland zou ontplooien.

Deze voorwaarde is afgedekt door een productiefaciliteit op te zetten voor het Mems-gebaseerde lenssysteem dat Mapper gebruikt om zijn elektronenbundels te focussen. Dit werd tot op heden gefabriceerd in de cleanrooms van het Delftse Dimes en de TU Eindhoven, maar volgens Mapper-CEO Bert Jan Kampherbeek voldoet deze ’historisch gegroeide‘ oplossing niet meer nu zijn bedrijf werkt aan opschaling van de productie.

Het einddoel van Mapper: met een clustertool IC-serieproductie ondersteunen.

De andere helft van de investering is afkomstig van bestaande aandeelhouders, waaronder het investeringsvehikel van Arthur del Prado, investeerder Parcom Capital en vermogensbeheerder Hoving & Partners. Ook toeleveranciers Demcon en Technolution, enkele privé-investeerders en Agentschap NL (via een innovatiekrediet) doen een duit in het zakje.

Mapper werkt op dit moment aan zeven preproductietools die één wafer per uur belichten. Kampherbeek verwacht de eerste Matrix 1.1-machine begin 2013 te kunnen leveren. Datzelfde jaar hoopt hij de Matrix 10.1 te demonstreren op de Delftse burelen, die dankzij tien keer zoveel elektronenbundels – 13.260 in totaal – tien keer zo snel werkt. Om met de 10.1 de markt voor IC-prototyping adequaat te kunnen bedienen, wil Mapper rond 2014 over een productiecapaciteit van twintig machines per jaar beschikken.

De voorlopig laatste fase in Mappers businessplan is serieproductie van chips te ondersteunen met de Matrix 10.10, die als cluster van tien 10.1-machines honderd wafers per uur verstouwt. Daarvoor zal het bedrijf nog meer machines per jaar moeten kunnen verschepen.

Begin dit jaar demonstreerden partners CEA-Leti en TSMC op Mappers alfamachine te kunnen voldoen aan de resolutie-eisen voor de productie van 14- en 10-nanometer-logic-chips op 300 millimeter wafers. In april kwalificeerde ontwikkelpartner Technolution met succes een prototype datacorrectiesysteem.