Paul van Gerven
20 December 2018

In bijna twintig jaar ontwikkelen heeft het Delftse Mapper nooit de status van startup weten af te schudden. Nu heeft het surseance van betaling aangevraagd.

Na vijftien jaar lang van de ene kapitaalinjectie naar de andere subsidieronde te hebben geleefd, is Mapper dan toch gestruikeld: de Delftse ontwikkelaar van e-beam-lithografiemachines heeft deze week surseance van betaling aangevraagd. Leveranciers van het bedrijf zijn per e-mail ingelicht over de financiële situatie.

Mapper werd in 2000 vanuit de TU Delft opgericht om elektronenbundellithografie in chipproductie te introduceren, maar onderschatte de complexiteit van de technologie en slaagde er voor zover bekend in slechts een handvol e-beam-machines te verkopen. De meeste chipfabrikanten zetten hun kaarten al vroeg op euv-lithografie als opvolger van immersielithografie, hoewel ook euv forse vertraging opliep.

Wat e-beam betreft, keek de industrie liever de kat uit de boom. Meebetalen aan de ontwikkeling, zoals bij euv-lithografie, was niet aan de orde. Ook diende zich nooit de overnamepartner aan waar Mapper op hoopte. In 2011 wees ASML de Delftse avances openlijk af.

Eén chipfabrikant steunde Mapper wel: TSMC. De Taiwanese foundry nam in 2008 een alfaversie af van de e-beam-machine. ‘Mappers oplossing is een serieuze kandidaat om de standaard te zetten in lithografie van de toekomst’, zei r&d-directeur Jack Sun van TSMC bij die gelegenheid. Het was een krachtig signaal naar investeerders. Zonder de rugdekking van ’s werelds grootste foundry had Mapper waarschijnlijk de kredietcrisis niet overleefd.

Een cluster van tien e-beam-machines zou competitief zijn in chipproductie, beloofde Mapper. Foto: Mapper

Unieke codes

Mappers eerste preproductietool, de FLX-1200, werd in 2015 geïnstalleerd bij het Franse instituut CEA-Leti, dat de infrastructuur rondom e-beam-fabricage hielp ontwikkelen. Deze tool kon aanvankelijk één wafer per uur verwerken, maar op volle kracht tien per uur. In een productieomgeving zou een cluster van tien machines uiteindelijk honderd wafers per uur gaan doorvoeren, beloofde Mapper. Dat is bliksemsnel in e-beam-termen, maar matig in de wereld van chipproductie, al gaat het uiteindelijk om het totale kostenplaatje.

Tegen die tijd was Mapper echter al opgehouden zich als deelnemer in de next-gen litho-race te presenteren. ‘We richten onze pijlen nu in eerste instantie op andere toepassingen, maar we blijven ervan overtuigd dat de technologie op den duur gebruikt kan worden om ’s werelds meest geavanceerde chips te produceren. Nu zoeken we eerst andere ingangen om de markt te betreden’, vertelde ceo Bert Jan Kampherbeek in 2016 aan Bits&Chips.

Maskerloze e-beam-litho werd altijd al een potentiële rol toegedicht in maskerfabricage, prototyping en serieproductie in kleine oplages. Mapper bedacht nog een vierde toepassing, die ondoenlijk is met optische lithografie: het aanbrengen van unieke identificatiecodes op chips. Met securityspecialist Irdeto richtte het de joint venture Uniqic op om daarop gebaseerde beveiligingsoplossingen te ontwikkelen.

Ook vond Mapper opnieuw gehoor in Taiwan: in april van dit jaar startten de National Tsing Hua University en de Japanse semi-equipmentleverancier Screen het MEB12-programma voor on-chip security. Het Delftse bedrijf neemt daaraan deel, waarschijnlijk resulterend in de tweede FLX-1200-levering waarvan cto Marco Wieland eerder dit jaar gewag maakt in een presentatie. Hoewel TSMC ook zo’n tool zou afnemen, is niet duidelijk of dat ooit is gebeurd.

Reddende engel

Zo heeft Mapper de status van startup nooit kunnen ontstijgen. Er zijn waarschijnlijk honderden miljoenen verbrand, waar geen noemenswaardige inkomsten tegenover stonden. Zo’n 240 werknemers moeten nu hopen op een reddende engel.