Even stonden ze weer in weer de spotlight, de Delftse techneuten van Mapper. Financieel Dagblad kopte op de voorpagina ’Technologisch succes voor rivaal ASML‘. Vakblad EE Times was wat meer ingetogen: ’Mapper claimt mijlpaal in maskerloze lithografie.‘ Aanleiding was een persbericht dat Mapper zelf de wereld in had gestuurd. Dat viel op omdat de maskerloze-lithografiespecialist tot op heden maar spaarzaam de publiciteit opzocht, in stilte sleutelend aan zijn concept. Staan de machines van Mapper soms op het punt door te breken?
Eerst het nieuws zelf maar. Mapper legde de nadruk op het gereedkomen van een tool die patroontjes van 45 nanometer afdrukt met behulp van parallelle elektronenbundels. Echt wereldschokkend is dat niet. Medeoprichter Bert Jan Kampherbeek vertelde in juni aan Bits&Chips dat er een prototype gereed was, al had het nog wat kinderziektes. Het nieuws is dus dat Mappers kindje is opgeknapt.
Veel interessanter is de betrokkenheid van foundry TSMC, die met naam en toenaam in het persbericht wordt genoemd. In het interview vertelde Kampherbeek, tegenwoordig belast met marktontwikkeling, dat de investeerders in zijn onderneming bleven geloven omdat er een ’grote halfgeleiderfabrikant‘ stond te trappelen om de machines in gebruik te nemen. Hij wilde toen echter nog geen namen noemen. Nu heeft TSMC zich dus als gegadigde bekendgemaakt. Het artikel in FD spreekt van een concreet voornemen om volgend jaar machines bij de Taiwanezen te stationeren.
Op het eerste gezicht is dat een delicate kwestie omdat TSMC een van de grootste klanten van ASML is. Het is echter onzin om Mappers e-beamconcept te positioneren tegenover ASML‘s wafersteppers of EUV-machines. Er was misschien een tijd dat Mapper zich als potentiële rivaal van de Veldhovenaren beschouwde, maar tegenwoordig kiest het bedrijf een andere marketingstrategie. Maskerloze litho is namelijk helemaal niet zo geschikt voor lopendebandwerk. Daar is het te langzaam voor – Mapper mikt op tien wafers per uur en dat mag gerust ambitieus heten.
PhD pitches at the Benelux RF Conference
Learn about the latest trends and developments in high-end RF techniques. On 24 May, the Benelux RF Conference will take place in Nijmegen. New this year are the PhD pitches, in which young professionals present their research results. Make sure to reserve your seat in time and register now.
Voor chipprototyping biedt de technologie echter wel mogelijkheden: het spaart de fabricage van maskers uit. Die zijn niet alleen duur, maar het productieproces is ook tijdrovend. Voor een snellere time-to-market biedt parallelle e-beam daarom uitkomst. Daarnaast richt Mapper zich op nichemarkten waar throughput van ondergeschikt belang is en de maskerkosten per design kunnen aantikken, zoals Asics en ASSP‘s.
Al met al is het nog te vroeg om van Mappers aanstaande doorbraak te spreken. Het gaat nog enkele jaren duren voordat het concept zich kan bewijzen op de markt. Daarom moeten de Delftenaren eerst nog een tweetal obstakels uit de weg ruimen: het beschrijven van 300 mm wafers en het uitbreiden van het aantal elektronenbundels. Het prototype heeft 110 bundels en dat moeten er 13 duizend worden.
Rest de vraag waarom Mapper ervoor koos uit zijn schulp te kruipen. Het antwoord is vermoedelijk tweeledig. Ten eerste heeft lithospecialist hard nieuwe mensen nodig. Kamperbeek heeft laten weten nog zeker tien vacatures te willen vervullen voor het einde van het jaar. Een paar in het oog springende nieuwsberichten zijn betere en goedkopere reclame dan een advertentiecampagne. Ten tweede komt media-aandacht wellicht van pas bij de volgende investeringsronde. Volgens Kamperbeek blijven de huidige geldschieters aan boord, waaronder ASM International-topman Arthur del Prado en apparaatleverancier Tencor, maar gaat zijn bedrijf ook op zoek naar nieuwe financiële bronnen.