Nikon claimt dat ASML en Carl Zeiss SMT inbreuk maken op elf octrooien voor immersielithografie. Het Japanse bedrijf eist een verbod op de verkoop en distributie van ASML’s immersiesystemen en een schadevergoeding. ASML ontkent de aantijgingen en zal zich verdedigen in de rechtbank. De zaken dienen in Den Haag, Tokio en Mannheim.
‘Wij zijn ervan overtuigd dat ASML’s ongeautoriseerde gebruik van Nikons octrooien op onze meest geavanceerde technologieën, waaronder de technologie voor immersielithografie, ASML in staat heeft gesteld om zijn lithografieactiviteiten uit te breiden’, aldus president-directeur Kazuo Ushida van Nikon.
Het conflict gaat terug tot 2004. Toen schikten de partijen na drie jaar procederen in de Verenigde Staten en gingen ze kruislicenties aan. De bedrijven spraken af dat ze sommige van elkaars octrooien voor onbepaalde tijd mochten gebruiken, maar voor andere verviel de overeenkomst op 31 december 2009.
Nikon heeft sindsdien onderhandeld met ASML en Zeiss. Eerder dan 2015 kon het zijn concurrent echter niet aanklagen omdat in de schikking een periode van vijf jaar was afgesproken waarin de bedrijven elkaar niet voor de rechter zouden slepen.
Volgens ASML-ceo Peter Wennink wilde Nikon er echter niet binnenskamers uit komen. ‘We zijn teleurgesteld dat Nikon geen serieuze pogingen heeft ondernomen om te onderhandelen en voor juridische stappen kiest’, zegt Wennink in een persbericht. ASML stelt zich ‘krachtig’ te zullen verweren.