Paul van Gerven
3 April 2012

Technolution claimt een ’cruciale stap‘ in het datacorrectiesysteem van Mappers eerste preproductietool, de Matrix 1.1, te hebben gemaakt. Het Goudse ingenieursbureau, dat al sinds 2004 met Mapper samenwerkt, is erin geslaagd om realtime correcties toe te passen op de patroneringsdata, die ’pixel voor pixel‘ moeten worden aangepast aan specifieke omstandigheden in de machine. Nu een prototype van dit Full Field Pattern Streamer-systeem af is en de werking ervan is getoetst aan de eisen van Mapper en zijn klanten, kan Technolution beginnen met de opschaling. Het aantal datakanalen zal worden getild van enkele tientallen in het prototype naar achthonderd in de Matrix 1.1.

Mapper_Matrix_10.10
Mappers productiemachine, de Matrix 10.10, is een cluster van tien Matrix 10.1-tools, die elk tien wafers per uur beschrijven. De totale doorvoer van de 10.10 is dus honderd wafers per uur.

De ontwikkeling van Mappers e-beammachine lijkt sinds begin dit jaar in een stroomversnelling te zijn gekomen. Onlangs maakte Mapper samen met partners CEA-Leti en TSMC bekend te voldoen aan de resolutie-eisen voor 14- en 10-nanometer-logic-chips, gefabriceerd op 300-millimeterwafers. De volgende stap die potentiële klanten beslist graag zouden zien is afdoende doorvoer. Wat dat betreft zal de preproductietool met een wafer per uur nog niet overtuigen, maar het geplande cluster van tien machines moet uiteindelijk een doorvoer van honderd wafers per uur mogelijk maken.