Op 25 mei heeft technologiestichting STW het Thin Film Nanomanufacturing-programma geopent. Universiteiten kunnen tot 29 juni pre-proposals indienen om in aanmerking te komen voor financiering. Een commissie selecteert daaruit de voorstellen die in aanmerking komen voor een full-proposal. De opzet van het programma is breed. Behalve de halfgeleiderindustrie kunnen bedrijven in onder andere coatings, optica, plastic elektronica en zonnecellen ervan profiteren.
’We financierden al eerder initiatieven op het gebied van dunnelaagtechnologie, maar nog niet eerder had het onderwerp een eigen programma‘, zegt Gertjan Bögels van STW. TFN maakt deel uit van de Perpectief-projecten van STW, die zich richten op knelpunten in de innovatie. Ze zijn multidisciplinair van opzet en Nederlandse bedrijven zijn betrokken bij de ontwikkeling, financiering en beheer.
Namens ASM International droeg Bas van Nooten bij aan de halfgeleideraspecten van het TFN-programma. ’We wilden het onderzoek naar nanofilms stimuleren,‘ zegt hij. De Bilthovense maker van machines voor depositie van atoomscherpe lagen doet zijn procesontwikkeling in Europa voornamelijk bij Imec en in Finland. ’Het Nederlandse onderzoek zal fundamenteler van aard zijn. Bij ontwikkeling is het vaak grote stappen, snel thuis. Maar begrip van de onderliggende materie is ook heel waardevol.‘
ASM heeft samen met academische partners nog geen pre-proposal ingediend, maar is daar volgens Van Nooten druk mee bezig. De voorbereidingen daarvoor zijn al wel vergevorderd. Volgens de director European Cooperative Programs is er op deelgebied een boel expertise te vinden in Nederland. ’Een nationaal programma dat die kennis samenbrengt is een logische stap.‘
