Nieke Roos
8 March 2011

Voor zijn fabs in Taiwan heeft TSMC een reeks orders geplaatst bij vier grote apparaatbouwers. Dat meldt het online nieuwsmedium Fabtech. ASMI heeft van de foundry een bestellijst gekregen ter waarde van achttien miljoen dollar. Vermoedelijk betreft het ALD-machines voor hoge-k- en metalen-gateprocessen (HKMG). Ebara mag voor 22,6 miljoen dollar leveren aan TSMC. Hier lijkt het te gaan om tools voor chemical mechanical planarization. Bij Lam Research heeft de foundry voor 21,4 miljoen dollar besteld, waarschijnlijk technologie om enkele wafers te reinigen. Applied Materials, ten slotte, heeft voor 20,3 miljoen dollar aan orders ontvangen uit Taiwan.