Pieter Edelman
3 September 2015

Mesa+-onderzoekers zijn er samen met collega’s van de Westfälische Wilhelms-Universität Münster en de bedrijven Lionix en Xio Photonics in geslaagd om een fotonische chip te maken die monochromatisch laserlicht uitsmeert over een spectrum van blauw tot infrarood, een bandbreedte van in totaal 495 THz. Dat is meer dan anderhalf keer zo veel als het vorige record. Bovendien is het voor het eerst het zichtbare spectrum gehaald wordt met een cmos-compatibel proces.

Spectrumverbreding wordt veel gebruikt bij fotonische meettoepassingen en optische communicatie. Om het monochromatische licht om te zetten in een breed spectrum, worden zeer korte pulsen in een niet-lineaire medium gestuurd. Voor het zichtbare gebied waren al diverse materialen voorgesteld en structuren zoals fibers en fotonische kristallen.

De Twentse onderzoekers hebben nu aangetoond dat een waveguide gebruikt kan worden van siliciumnitride ingebed in regulier siliciumoxide. Daarvoor gebruikten ze het Triplex-proces van Lionix, dat een (lp)cvd-proces gebruikt om deze te maken. Voor het nieuwe werk moest dit verbeterd worden om waveguides van achthonderd nanometer dik te maken zonder breuken.