De 3400C is de euv-machine die ASML altijd heeft willen bouwen

5 February 2019

De 3400C is de euv-machine die ASML altijd heeft willen bouwen

Na de overname van Cymer jeukten de handen van ASML om het ontwerp van de euv-bron grondig te herzien. Maar aangezien dat het verkeerde signaal zou afgeven aan klanten, moest het bedrijf aanmodderen tot de levensvatbaarheid van euv definitief was aangetoond. Eind dit jaar verschijnt de NXE:3400C, ‘de machine zoals we die altijd hebben willen maken’, aldus topman Peter Wennink.