ASML’s overname van HMI vanuit drie perspectieven

1. De technologie

‘De tijd van puntoplossingen is voorbij. We hebben geïntegreerde oplossingen nodig’, zegt ceo Peter Wennink van ASML in een video waarin hij de overname toelicht. Waar je vroeger een chip kon ontwerpen en vervolgens de wafer door verschillende apparaten haalde zonder dat al deze stations rekening met elkaar dienden te houden, is tegenwoordig meer en meer een geïntegreerde benadering nodig. Dat is precies wat ASML met de e-beaminspectietools van HMI wil doen.

De technologie van HMI zal een plaatsje krijgen in wat ASML zijn holistische-lithografiesuite noemt, een verzameling hulpmiddelen om procesaspecten te coördineren. Dat kunnen computationele technieken zijn om masker en belichtingsstappen op elkaar af te stemmen (de Flexray), maar ook metrologische tools die het proces op basis van metingen on the go helpen bijsturen (de Yieldstar).