Geen chip meer hetzelfde met Mappers e-beam-machine

Het ziet ernaar uit dat optische lithografie het werkpaard van de halfgeleiderindustrie zal blijven. Mapper, met maskerloze e-beam-technologie de belangrijkste uitdager van de gevestigde orde, positioneert zich al enige tijd niet meer nadrukkelijk als deelnemer in de next-gen litho-race, die daarmee is beslist in het voordeel van ASML’s euv-lithografie. Zelfs TSMC, dat het ontwikkeltempo van euv dikwijls openlijk bekritiseerde en al in een vroeg stadium interesse toonde in de technologie van Mapper, heeft de hoop op e-beam in mainstreamproductie opgegeven en euv omarmd.

Toch houdt Mapper-ceo Bert Jan Kampherbeek nog een slag om de arm. ‘We richten onze pijlen nu in eerste instantie op andere toepassingen, maar we blijven ervan overtuigd dat de technologie op den duur gebruikt kan worden om ’s werelds meest geavanceerde chips te produceren. Nu zoeken we eerst andere ingangen om de markt te betreden’, vertelt Kampherbeek.