Getergd ASML grist teugels uit handen Cymer

Het geduld van ASML was op: de Veldhovenaren tellen 1,95 miljard euro neer om het roer over te nemen bij lichtbronspecialist Cymer. ’We hebben vertragingen ondervonden bij de ontwikkeling van de EUV-bron en die werden voornamelijk veroorzaakt door Cymer‘, zegt ASML-CFO Peter Wennink in een toelichting. Met de overname wil zijn bedrijf zeker stellen dat zijn EUV-scanners in 2014 zeventig wafers per uur verwerken, zoals beloofd.

De introductie van EUV-technologie is inmiddels zo vaak uitgesteld dat zij een wissel trekt op de wet van Moore, vertelde lithodirecteur Kurt Ronse van Imec onlangs (zie Bits&Chips 8, 2012, die vrijdag 19 oktober op de mat ligt). Chipmakers spreken weliswaar over 14-nanometerchips, maar in werkelijkheid zou volgens Ronse 16 of 17 nanometer een aanduiding zijn die beter overeenkomt met de werkelijkheid. In de krimpslag van 22/20 naar 14 nanometer wordt dus minder siliciumoppervlak gewonnen dan de laatste jaren gebruikelijk was, en dat komt doordat de lithografie tekortschiet.

De lichtbron geldt al jaren als een van de grootste problemen om EUV productiewaardig te krijgen, omdat het vermogen daarvan een belangrijke factor is in hoe lang een wafer belicht moet worden – en dus hoeveel wafers per uur kunnen worden verwerkt. De bronnen die nu in het veld staan, halen zeven wafers per uur met een watt of elf, en in het lab is dertig watt/achttien wafers per uur aangetoond. ASML houdt vast aan zijn belofte om in 2014 met een bron van 105 watt op de proppen te komen, goed voor ongeveer zeventig wafers per uur.