ASML versnelt euv-roadmap

ASML’s uitlevering van euv-scanners komt op stoom. ‘We zagen een mooie lineaire trend in de levering van onze euv-systemen’, zei cfo Roger Dassen van ASML, vervanger van de naar Bayer vertrokken Wolfgang Nickl, bij de presentatie van de derdekwartaalcijfers. ‘We leverden drie systemen in het eerste kwartaal, vier in het tweede, vijf in het derde en we verwachten er zes in het vierde te verschepen.’ Dit brengt het totaal voor dit jaar op achttien stuks, zes meer dan in 2017.

De productie in Veldhoven wordt de komende jaren verder verhoogd om te voorzien in de behoefte van vooral Samsung en TSMC, die beginnen aan de productie-ramp-up van de eerste generatie ‘euv-chips’ (zie kader ‘Euv-lithografie in productie’). Zij voeren de komende twee tot drie jaar hun capaciteit gestaag op. Als langzaamste schakel in het productieproces draait het daarbij vooral om de euv-scanners.