Het beste van mems en fotonica gecombineerd

Druksensoren op basis van mems-technologie zijn vanwege hun geringe afmetingen en performance goed ingeburgerd in domeinen als automotive, medisch, hoogte- en dieptemetingen en flow sensing. Fotonische sensoren staan dan weer bekend om hun hoge gevoeligheid en lage ruis, maar deze systemen zijn minder goed geïntegreerd. Imec wil deze werelden samenvoegen: sensoren met de performance van fotonica en het formaat van mems. Deze micro-optomechanische systemen (moms) hebben een grote nauwkeurigheid én een breed meetbereik.

Het potentieel van moms

Imec ziet om een aantal redenen potentieel in moms. Een belangrijke is dat een kleine mechanische verplaatsing in de sensor een groot optisch effect teweeg kan brengen en daarmee een hoge gevoeligheid in de hand werkt. Ook bevatten de moms-sensoren geen metalen, wat ze met name interessant maakt voor medische toepassingen. Denk aan sensoren in het lichaam waarmee de patiënt onder de magnetische mri-scanner kan.